ZYGO白光輪廓儀之“快速跳躍掃描”ZIP-SCAN模式

您知道么？ZYGO所有型號白光輪廓儀，都具有ZIP-SCAN“快速跳躍掃描” 模式，用于大高度，多層臺階的高效測量。

對于有高度差的臺階表面，ZYGO基本解決方案是，以掃描高度覆蓋臺階高度，從而測出臺階樣品整個微觀形貌。但高精度模式下，壓電陶瓷掃描長度一般在100um左右，這大大限制了臺階高度的測量范圍。 

ZYGO還提供延長掃描（Extended Scan Length）的測量方案，以電機驅(qū)動縱向掃描，高度可達20mm，幾乎可以解決大部分高落差的臺階樣品。但由于在整個20mm高度的掃描過程中，系統(tǒng)一直在測量采樣，所以這一掃描測量過程，會花費較長的時間。 

如果您的樣品具有大的臺階跳躍，或者多層臺階，對測量時間效率要求高，那您可以考慮ZYGO獨有的“快速跳躍掃描”ZIP-SCAN模式。

Zip Scan（快速跳躍掃描）模式，是以電機驅(qū)動，移到預設的臺階高度，再切換為壓電陶瓷做高精度掃描。測試時兼容多個CSI掃描模式，包括SureScan抗震模式，同時還可兼容Stitch拼接和Pattern功能。

Zip Scan的優(yōu)點：對于臺階高度大的樣件，Zip Scan測試效率高，節(jié)約時間成本，測試結(jié)果準確。避免了延長掃描的長耗時，減少了延長掃描過程中環(huán)境震動的影響。同時，對于多臺階的樣件，可實現(xiàn)每層可以自定義光強，以及每層可以自定義掃描長度。

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