立式配置 激光干涉儀應用

-立式和臥式配置 有什么不同？

-立式配置 有什么優勢？

-何時該選擇 何種立式配置？

以水平臥式的方式，放置樣品，是菲索式激光干涉儀*常見的配置。如上圖，整個干涉腔，包括干涉儀主機，測試樣品及參考鏡，相關夾具，都放置在抗振平臺臺面上。

這樣的配置，*大的優勢在于對不同應用的適應性。在臥式配置下，無論是平面還是球面樣品；表面或者透射波前的測量，都可以很快切換，除了平臺尺寸之外，幾乎沒有限制。

在某些應用場合，基于測試效率，樣品夾持，測試方式或精度的要求，立式配置會更有優勢。

·        工業現場測試環境下，立式配置下，樣品的夾持放置，更有效率，更加穩定。

·        對于很多超高精度測量，要求樣品表面保持和工作狀態一致的條件下測量。

·        立式配置對于某些特殊應用的特殊優勢，比如高精度曲率半徑測量，大口徑平面樣品的拼接測量。

·                    激光干涉儀在立式配置下，樣品的放置，夾持和調整更方便，提高了測試效率。

·                    立式架構整機占地更小；整個干涉腔，處于穩定的框架結構下，這樣對抗振要求更低，可省去昂貴和龐大的抗震平臺。

這些優勢，都非常適合在工業現場，有限的空間里，高效測量的要求。平面樣品測量對腔長沒有要求，更適合于立式配置；如上圖左ZYGO平面立式系統，緊湊的結構，很小的占地空間，可以以桌上系統的方式，高效測量。

球面樣品測試對腔長有要求，需要基于不同樣品調整。上圖中為ZYGO老型號的球面立式下視系統，這一配置下干涉儀主機在上，重心提高，對于抗振控制提出較高要求。

新的ZYGO立式球面測量系統VTS，如上圖右，采用上視配置，其重心位置更合理，抗振效果更好；同時上視系統夾具對球面樣品，復位性更好。

須注意立式球面與臥式配置相比，其適用性比較差，比如測長曲率半徑，大口徑凹面樣品等等時候，立式配置有局限性。立式球面配置，適合于工業定型產品，現場大批量高效測量。

·                    很多超高精度的球面透鏡，其工作狀態為立式，需要在其工作狀態下測試；

·                    在立式架構下，球面樣品的支撐及夾具，對樣品形貌造成的影響更小；

·                    基于立式的導軌平臺，更適合于高精度的曲率半徑測量；

超高精度的球面干涉儀，無論是測量表面形貌，還是曲率半徑，常采用立式配置。如上圖左 ZYGO 300mm立式球面激光干涉儀 VWS

·        保持和工作狀態一致，也是很多大口徑平面樣品，采用立式配置檢測的原因；

·        平面樣品更適合于采用拼接技術，以突破干涉儀本身口徑，測試更大區域。相對于臥式系統，立式配置更適合于拼接測量。如上圖右，ZYGO 600mm+，平面拼接激光干涉儀，就采用了立式配置。